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飛秒激光輔助制造下，以壓電驅動結晶石英為基礎的MEMS諧振器工藝。
介紹了一種用于MEMS應用的石英諧振器精確制造的新技術。這種方法基于石英的激光誘導化學蝕刻。主要加工步驟包括飛秒紫外激光處理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片，然后進行濕法蝕刻。激光圖案化Cr-Au涂層用作蝕刻掩模并且用于形成用于壓電致動的電極。這種制造方法改變石英的晶體結構或其壓電財產。缺陷的形成，這在通過優(yōu)化工藝參數(shù)和控制時間行為來防止激光微加工石英激光與物質的相互作用。該工藝不涉及任何光刻，并允許進行高幾何設計靈活性壓電致動梁型諧振器的幾種配置是使用相對溫和的濕法蝕刻條件，并通過實驗證明了它們的功能。設備是有區(qū)別的通過降低所制造的石英結構的表面粗糙度和改進的壁輪廓而從先前的努力中獲得。
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